ECR離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置。在離子源內，等離子體運動軌跡是一條螺旋線。

熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發射原初電子，發射出來的原初電子，經過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數。

射頻離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置，在高頻電場中，自由電子與氣體中的原子（或分子）碰撞，并使之電離。

法拉第杯是一種金屬制設計成杯狀，用來測量帶電粒子入射強度（入射電流）的一種真空偵測器，適用于高熱負荷下的長時間測量，測得的入射電流可以用來判定入射電子或離子的數量，安裝、維護方便快捷，工作壽命長。